Oxford PECVD proses modülleri, kırılma indisi, stres, elektriksel özellikler ve ıslak kimyasal aşındırma oranı gibi film özelliklerinin kontrolü ile mükemmel homojenlik ve yüksek oranlı filmler üretmek için özel olarak tasarlanmıştır.

• Yüksek kaliteli filmler, yüksek verim, mükemmel homojenlik
• Geniş sıcaklık aralığı elektrotu
• 200 mm’ye kadar tüm wafer boyutlarıyla uyumlu
• Wafer boyutları arasında hızlı değişim
• Düşük sahip olma maliyeti ve servis kolaylığı
• 400°C veya 1200°C’ye kadar kapasiteye sahip dirençli ısıtmalı elektrotlar
• In-situ hazne temizleme

Daha fazla bilgi için tıklayınız.