Oxford PlasmaPro ASP, kurumsal/uzmanlaşmış Ar-Ge için üretimde kanıtlanmış bir platforma dayalı olarak, cihazlara dahil edilmek üzere mükemmel katmanlar sağlamak üzere birden fazla kimyayı çalıştırma esnekliğiyle hızlı bir şekilde bırakılabilen yüksek kaliteli malzemeler sağlamak üzere tasarlanmıştır. Son teknoloji Plazma Geliştirilmiş ALD sistemimiz, daha yüksek verim ve daha kalın filmler için hız ile ALD'nin esnekliğini, uyumluluğunu ve ayarlanabilirliğini sunar.

• Geleneksel uzak plazmadan 3 kat daha hızlı
• Çevre ve çalıştırma maliyeti için faydalı olan azaltılmış öncül tüketimi
• Yüksek malzeme kalitesi
• Düşük sahip olma maliyeti
• Geliştirilmiş servis kolaylığı ve bakım
• Hız için düşük hacimli hazne
• Düşük yüzey hasarı
• Daha yüksek proses kararlılığı

Daha fazla bilgi için tıklayınız.